簡要描述:-45~250℃ 半導(dǎo)體芯片集成電路測試Chiller的典型應(yīng)用:適合元器件測試用設(shè)備,在用于惡劣環(huán)境的半導(dǎo)體電子元件的制造中,IC封裝組裝和工程和生產(chǎn)的測試階段包括在溫度(-85℃至+ 250℃)下的電子冷熱測試和其他環(huán)境測試模擬。
品牌 | LNEYA/無錫冠亞 | 產(chǎn)地類別 | 國產(chǎn) |
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應(yīng)用領(lǐng)域 | 石油,能源,電子,汽車,電氣 |
適合元器件測試用設(shè)備
在用于惡劣環(huán)境的半導(dǎo)體電子元件的制造中,IC封裝組裝和工程和生產(chǎn)的測試階段包括在溫度(-85℃至+ 250℃)下的電子冷熱測試和其他環(huán)境測試模擬。
型號 | KRY-455 KRY-455W | KRY-475 KRY-475W | KRY-4A10 KRY-4A10W | KRY-4A15 KRY-4A15W | KRY-4A25 KRY-4A25W | KRY-4A38W | KRY-4A60W | |
溫度范圍 | -40℃~+100℃ | |||||||
控溫精度 | ±0.5℃ | |||||||
溫度反饋 | Pt100 | |||||||
溫度顯示 | 0.01k | |||||||
流量輸出 | 1~10L/min | 1~25L/min | 1~25L/min | 1~40L/min | 1~40L/min | 5~50L/min | 5~50L/min | |
關(guān)于流量說明 | / | 當(dāng)溫度低于-30度時(shí),大流量為25L/min | 當(dāng)溫度低于-30度時(shí),大流量為30L/min | |||||
流量控制精度 | ±0.2L/min | ±0.2L/min | ±0.2L/min | ±0.2L/min | ±0.2L/min | ±0.2L/min | ±0.2L/min | |
壓力顯示 | 采用江森自控壓力傳感器,觸摸屏上顯示壓力,可進(jìn)行壓力控制調(diào)節(jié) | |||||||
加熱功率 | 5.5kW | 7.5kW | 10kW | 10kW 選配15kW | 15kW 選配25kW | 25kW 選配38kW | 38kW 選配60kW | |
制冷量 | 100℃ | 5.5kW | 7.5kW | 10kW | 15kW | 25kW | 38kW | 60kW |
20℃ | 5.5kW | 7.5kW | 10kW | 15kW | 25kW | 38kW | 60kW | |
0℃ | 5.5kW | 7.5kW | 10kW | 15kW | 25kW | 38kW | 60kW | |
-20℃ | 2.8kW | 4.5kW | 6kW | 10kW | 16kW | 25kW | 35kW | |
-35℃ | 1.2kW | 1.8kW | 2.5kW | 4kW | 6.5kW | 10kW | 15kW | |
壓縮機(jī) | 艾默生谷輪渦旋柔性壓縮機(jī) | |||||||
膨脹閥 | 艾默生/丹佛斯熱力膨脹閥 | |||||||
油分離器 | 艾默生 | |||||||
干燥過濾器 | 艾默生/丹佛斯 | |||||||
蒸發(fā)器 | 丹佛斯/高力板式換熱器 | |||||||
輸入、顯示 | 7寸彩色觸摸屏西門子S7-1200 PLC控制器 | |||||||
程序編輯 | 可編制10條程序,每條程序可編制40段步驟 | |||||||
通信 | CAN通信總線 | |||||||
安全保護(hù) | 具有自我診斷功能;冷凍機(jī)過載保護(hù);高壓壓力開關(guān),過載繼電器、熱保護(hù)裝置、低液位保護(hù)、高溫保護(hù)、傳感器故障保護(hù)等多種安全保障功能 | |||||||
是否為全密閉系統(tǒng) | 整個(gè)系統(tǒng)為全密閉系統(tǒng),高溫時(shí)不會(huì)有油霧、低溫不吸收空氣中水份,系統(tǒng)在運(yùn)行中不會(huì)因?yàn)楦邷厥箟毫ι仙蜏刈詣?dòng)補(bǔ)充導(dǎo)熱介質(zhì)。 | |||||||
制冷劑 | R404A/R507C | |||||||
接口尺寸 | G3/4 | G3/4 | G3/4 | G3/4 | G3/4 | G3/4 | G3/4 | |
水冷型at25度 | 1100L/H | 1500L/H | 2000L/H | 2800L/H | 4500L/H | 7000L/H | 12000L/H | |
水冷冷凝器 | 帕麗斯/沈氏套管式換熱器 | |||||||
風(fēng)冷型冷凝器 | 銅管鋁翅片換熱器(上出風(fēng)形式) | |||||||
電源 380V50HZ | 12kW max | 15kW max | 20kW max | 29kW max | 42kW max | 58kW max | 84kW max | |
水冷尺寸cm | 55*95*175 | 55*95*175 | 55*95*175 | 70*100*175 | 80*120*185 | 100*150*185 | 145*205*205 | |
風(fēng)冷尺寸cm | 55*95*175 | 55*95*175 | 70*100*175 | 80*120*185 | 100*150*185 | |||
重量 | 250kg | 280kg | 320kg | 360kg | 620kg | 890kg | 1300kg | |
選配 | 220V 60HZ三相 400V 50HZ三相 440V 60HZ三相 | |||||||
選配 | 溫度擴(kuò)展到-40℃~+135℃ | |||||||
選配 | 更高精度控制溫度、流量、壓力 | |||||||
選配 | 自動(dòng)加注防凍液系統(tǒng) | |||||||
選配 | 自動(dòng)液體回收系統(tǒng) |
-45~250℃ 半導(dǎo)體芯片集成電路測試Chiller
-45~250℃ 半導(dǎo)體芯片集成電路測試Chiller
1、設(shè)計(jì)驗(yàn)證階段:驗(yàn)證芯片設(shè)計(jì)有效性,對測試設(shè)備需求少
芯片設(shè)計(jì)公司通常會(huì)使用半導(dǎo)體測試設(shè)備對晶圓或芯片樣品進(jìn)行測試,以驗(yàn)證芯片樣品功能和性能的有效性,并指導(dǎo)芯片設(shè)計(jì)。設(shè)計(jì)驗(yàn)證階段對測試設(shè)備需求較少。
2、晶圓測試階段:測試機(jī)+探針臺(tái),測試晶圓,節(jié)省封裝成本
晶圓測試又稱為CP測試,是指在晶圓制造完成后和進(jìn)行封裝前,通過探針臺(tái)和測試機(jī)配合使用,對晶圓上的每一個(gè)芯片晶粒進(jìn)行功能和電參數(shù)性能測試的過程,是晶圓制造的較后一道工序。晶圓測試一般在晶圓廠、封測廠或?qū)iT的測試代工廠進(jìn)行,主要用到的設(shè)備為測試機(jī)和探針臺(tái),此外還有定制化的測試電路板和探針卡,探針卡上裝有探針。
晶圓測試過程:先將探針卡固定到測試電路板上,然后把測試電路板安裝到測試機(jī)的機(jī)頭上,再將測試機(jī)頭倒置于探針臺(tái)上。探針臺(tái)上部有孔供探針卡插入。一旦安裝完畢,測試機(jī)、測試電路板、探針卡和探針臺(tái)都固定不動(dòng),探針臺(tái)內(nèi)部的機(jī)械手臂控制晶圓移動(dòng),并將每一顆芯片晶粒上的接觸孔對準(zhǔn)探針,然后向上頂使探針準(zhǔn)確插入晶粒的接觸孔,完成測試。