簡要描述:半導(dǎo)體芯片高低溫試驗箱Chiller,TES-45A25的典型應(yīng)用:適合元器件測試用設(shè)備,在用于惡劣環(huán)境的半導(dǎo)體電子元件的制造中,IC封裝組裝和工程和生產(chǎn)的測試階段包括在溫度(-85℃至+ 250℃)下的電子冷熱測試和其他環(huán)境測試模擬。
品牌 | LNEYA/無錫冠亞 | 產(chǎn)地類別 | 國產(chǎn) |
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應(yīng)用領(lǐng)域 | 石油,能源,電子,汽車,電氣 |
適合元器件測試用設(shè)備
在用于惡劣環(huán)境的半導(dǎo)體電子元件的制造中,IC封裝組裝和工程和生產(chǎn)的測試階段包括在溫度(-85℃至+ 250℃)下的電子冷熱測試和其他環(huán)境測試模擬。
型號 | KRY-455 KRY-455W | KRY-475 KRY-475W | KRY-4A10 KRY-4A10W | KRY-4A15 KRY-4A15W | KRY-4A25 KRY-4A25W | KRY-4A38W | KRY-4A60W | |
溫度范圍 | -40℃~+100℃ | |||||||
控溫精度 | ±0.5℃ | |||||||
溫度反饋 | Pt100 | |||||||
溫度顯示 | 0.01k | |||||||
流量輸出 | 1~10L/min | 1~25L/min | 1~25L/min | 1~40L/min | 1~40L/min | 5~50L/min | 5~50L/min | |
關(guān)于流量說明 | / | 當(dāng)溫度低于-30度時,大流量為25L/min | 當(dāng)溫度低于-30度時,大流量為30L/min | |||||
流量控制精度 | ±0.2L/min | ±0.2L/min | ±0.2L/min | ±0.2L/min | ±0.2L/min | ±0.2L/min | ±0.2L/min | |
壓力顯示 | 采用江森自控壓力傳感器,觸摸屏上顯示壓力,可進(jìn)行壓力控制調(diào)節(jié) | |||||||
加熱功率 | 5.5kW | 7.5kW | 10kW | 10kW 選配15kW | 15kW 選配25kW | 25kW 選配38kW | 38kW 選配60kW | |
制冷量 | 100℃ | 5.5kW | 7.5kW | 10kW | 15kW | 25kW | 38kW | 60kW |
20℃ | 5.5kW | 7.5kW | 10kW | 15kW | 25kW | 38kW | 60kW | |
0℃ | 5.5kW | 7.5kW | 10kW | 15kW | 25kW | 38kW | 60kW | |
-20℃ | 2.8kW | 4.5kW | 6kW | 10kW | 16kW | 25kW | 35kW | |
-35℃ | 1.2kW | 1.8kW | 2.5kW | 4kW | 6.5kW | 10kW | 15kW | |
壓縮機(jī) | 艾默生谷輪渦旋柔性壓縮機(jī) | |||||||
膨脹閥 | 艾默生/丹佛斯熱力膨脹閥 | |||||||
油分離器 | 艾默生 | |||||||
干燥過濾器 | 艾默生/丹佛斯 | |||||||
蒸發(fā)器 | 丹佛斯/高力板式換熱器 | |||||||
輸入、顯示 | 7寸彩色觸摸屏西門子S7-1200 PLC控制器 | |||||||
程序編輯 | 可編制10條程序,每條程序可編制40段步驟 | |||||||
通信 | CAN通信總線 | |||||||
安全保護(hù) | 具有自我診斷功能;冷凍機(jī)過載保護(hù);高壓壓力開關(guān),過載繼電器、熱保護(hù)裝置、低液位保護(hù)、高溫保護(hù)、傳感器故障保護(hù)等多種安全保障功能 | |||||||
是否為全密閉系統(tǒng) | 整個系統(tǒng)為全密閉系統(tǒng),高溫時不會有油霧、低溫不吸收空氣中水份,系統(tǒng)在運行中不會因為高溫使壓力上升,低溫自動補(bǔ)充導(dǎo)熱介質(zhì)。 | |||||||
制冷劑 | R404A/R507C | |||||||
接口尺寸 | G3/4 | G3/4 | G3/4 | G3/4 | G3/4 | G3/4 | G3/4 | |
水冷型at25度 | 1100L/H | 1500L/H | 2000L/H | 2800L/H | 4500L/H | 7000L/H | 12000L/H | |
水冷冷凝器 | 帕麗斯/沈氏套管式換熱器 | |||||||
風(fēng)冷型冷凝器 | 銅管鋁翅片換熱器(上出風(fēng)形式) | |||||||
電源 380V50HZ | 12kW max | 15kW max | 20kW max | 29kW max | 42kW max | 58kW max | 84kW max | |
水冷尺寸cm | 55*95*175 | 55*95*175 | 55*95*175 | 70*100*175 | 80*120*185 | 100*150*185 | 145*205*205 | |
風(fēng)冷尺寸cm | 55*95*175 | 55*95*175 | 70*100*175 | 80*120*185 | 100*150*185 | |||
重量 | 250kg | 280kg | 320kg | 360kg | 620kg | 890kg | 1300kg | |
選配 | 220V 60HZ三相 400V 50HZ三相 440V 60HZ三相 | |||||||
選配 | 溫度擴(kuò)展到-40℃~+135℃ | |||||||
選配 | 更高精度控制溫度、流量、壓力 | |||||||
選配 | 自動加注防凍液系統(tǒng) | |||||||
選配 | 自動液體回收系統(tǒng) |
半導(dǎo)體芯片高低溫試驗箱Chiller,TES-45A25
半導(dǎo)體芯片高低溫試驗箱Chiller,TES-45A25
測試機(jī)機(jī)身是一種標(biāo)準(zhǔn)化的設(shè)備,內(nèi)部可以插入不同的測試板卡。測試機(jī)廠會設(shè)計出一系列的測試板卡,每一種測試板卡可以滿足對某些功能的測試,測試廠在做芯片測試的時候,需要根據(jù)芯片的功能特性選擇不同的測試板卡進(jìn)行搭配。
此外,每一種芯片都需要編寫一套*的測試程序。因此,測試機(jī)的定制性主要體現(xiàn)在測試板卡的定制和測試程序的定制。
隨著芯片制程越來越小,其工藝難度也呈指數(shù)型上升。以10nm工藝為例,全工藝步驟數(shù)超過1300道,7nm工藝則超過1500道,其中任何一道工藝出錯都可能導(dǎo)致生產(chǎn)的集成電路不合格,拉低良品率。
集成電路測試設(shè)備主要包括測試機(jī)、探針臺和分選機(jī)。在所有的測試環(huán)節(jié)中都會用到測試機(jī),不同環(huán)節(jié)中測試機(jī)需要和分選機(jī)或探針臺配合使用。
因此,為了及時發(fā)現(xiàn)不穩(wěn)定因素、提高生產(chǎn)良率,測試環(huán)節(jié)貫穿在集成電路的生產(chǎn)流程里,測試設(shè)備則是其中的關(guān)鍵。
集成電路工藝繁多復(fù)雜,其中任何一道工藝出錯都可能導(dǎo)致生產(chǎn)的集成電路不合格,拉低良品率。
因此,測試環(huán)節(jié)對于集成電路生產(chǎn)而言至關(guān)重要。集成電路測試設(shè)備不僅可用于判斷被測芯片或器件的合格性,同時還可提供關(guān)于設(shè)計、制造過程的薄弱環(huán)節(jié)信息,有助于提高芯片制造水平,從源頭提高芯片的性能和可靠性。集成電路的測試環(huán)節(jié),主要包括芯片設(shè)計中的設(shè)計驗證、晶圓制造中的晶圓測試(CP測試)和封裝完成后的成品測試(FT測試)。
接觸孔的直徑通常都是1-2um別,因此,晶圓測試對探針臺的精度要求非常高,如果稍有偏差,探針將有較大可能扎壞晶圓,因此,探針臺的技術(shù)難度較大。