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半導(dǎo)體晶圓快速冷卻裝置開機(jī)運轉(zhuǎn)注意事項

簡要描述:元器件高低溫測試裝置在用于惡劣環(huán)境的半導(dǎo)體電子元件的制造中,IC封裝組裝和工程和生產(chǎn)的測試階段包括在溫度(-85℃至+ 250℃)下的電子冷熱測試和其他環(huán)境測試模擬。半導(dǎo)體晶圓快速冷卻裝置開機(jī)運轉(zhuǎn)注意事項

  • 產(chǎn)品型號:AES-4535
  • 廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
  • 更新時間:2024-01-07
  • 訪  問  量:1141
詳情介紹
品牌LNEYA/無錫冠亞冷卻方式風(fēng)冷式
價格區(qū)間5萬-10萬產(chǎn)地類別國產(chǎn)
儀器種類一體式應(yīng)用領(lǐng)域化工,電子,航天,制藥,汽車

<strong><strong><strong><strong>蝕刻液冷卻裝置的類型和機(jī)油要求</strong></strong></strong></strong>

 型號AES-4535
 AES-4535W
AES-6035
 AES-6035W
AES-8035
 AES-8035W
AES-A1035WAES-A1235W
溫度范圍-45℃~225℃-60℃~225℃-80℃~225℃-100℃~225℃-120℃~225℃
制冷量-45℃2.5kW    
-60℃ 2kW   
-80℃  1.5kW  
-100℃   1.2kW 
-120℃    1.2kW
溫控精度±0.5℃±0.5℃±1℃±1℃±1℃
溫度轉(zhuǎn)換時間-25℃ to 150℃ 約10S
150℃to  -25℃
約20s
-45℃ to 150℃ 約10S
150℃to  -45℃
約20s
-55℃ to 150℃ 約10S
150℃to  -55℃
約15s
-70℃ to 150℃ 約10S
150℃to  -70℃
約20s
-80℃ to 150℃ 約11S
150℃to  -80℃
約20s
空氣要求空氣濾清器<5um
空氣含油量:<0.1ppm
空氣溫濕度:5℃~32℃  0~50%RH
空氣處理能力7m³/h ~ 25m³/h  壓力5bar~7.6bar
系統(tǒng)壓力顯示制冷系統(tǒng)壓力采用指針式壓力表實現(xiàn)(高壓、低壓)
循環(huán)系統(tǒng)壓力采用壓力傳感器檢測顯示在觸摸屏上
控制器西門子PLC,模糊PID控制算法
溫度控制控制出風(fēng)口溫度
可編程可編制10條程序,每條程序可編制10段步驟
通信協(xié)議以太網(wǎng)接口TCP/IP協(xié)議
設(shè)備內(nèi)部溫度反饋設(shè)備出口溫度、制冷系統(tǒng)冷凝溫度、環(huán)境溫度、壓縮機(jī)吸氣溫度、冷卻水溫度(水冷設(shè)備有)
溫度反饋T型溫度傳感器
壓縮機(jī)法國泰康/艾默生
蒸發(fā)器套管式換熱器
加熱器法蘭式桶狀加熱器
制冷附件丹佛斯/艾默生配件(干燥過濾器、油分離器、高低壓保護(hù)器、膨脹閥、電磁閥)
操作面板無錫冠亞定制7英寸彩色觸摸屏,溫度曲線顯示EXCEL 數(shù)據(jù)導(dǎo)出
安全防護(hù)具有自我診斷功能;相序斷相保護(hù)器、冷凍機(jī)過載保護(hù);高壓壓力開關(guān),過載繼電器、熱保護(hù)裝置等多種安全保障功能。
制冷劑冠亞混合制冷劑
外接保溫軟管方便外送保溫軟管1.8m DN32快接卡箍
外型尺寸(風(fēng))cm54*69*13254*69*13275*73*13380*120*185100*150*185
外型尺寸(水)cm54*69*13254*69*13275*73*13370*100*17580*120*185
風(fēng)冷型采用銅管鋁翅片冷凝方式,冷凝風(fēng)機(jī)采用德國EBM軸流風(fēng)機(jī)
水冷型 W帶W型號為水冷型
水冷冷凝器板式換熱器(務(wù)必確保冷卻水清潔)
冷卻水量 at 25℃0.6m³/h
G3/8
1.2m³/h
G3/4
1.6m³/h
G1
2.6m³/h
G1
3m³/h
G1
電源 50HZ max3.7kW 220V5kW 220V5kW 220V6.8kW 220V7.5kW 220V
電源可定制460V 60HZ、220V 60HZ 三相
外殼材質(zhì)冷軋板噴塑 (標(biāo)準(zhǔn)顏色7035)
溫度擴(kuò)展高溫到 +300℃

 

 

<strong><strong><strong><strong>蝕刻液冷卻裝置的類型和機(jī)油要求</strong></strong></strong></strong><strong><strong><strong><strong>蝕刻液冷卻裝置的類型和機(jī)油要求</strong></strong></strong></strong><strong><strong><strong><strong>蝕刻液冷卻裝置的類型和機(jī)油要求</strong></strong></strong></strong>

<strong><strong><strong><strong>蝕刻液冷卻裝置的類型和機(jī)油要求</strong></strong></strong></strong>

半導(dǎo)體晶圓快速冷卻裝置開機(jī)運轉(zhuǎn)注意事項

半導(dǎo)體晶圓快速冷卻裝置開機(jī)運轉(zhuǎn)注意事項

  操作人員在使用半導(dǎo)體晶圓快速冷卻裝置時,應(yīng)當(dāng)在開機(jī)前做好一些準(zhǔn)備工作,這樣可以避免由于非正常條件下啟動引起的半導(dǎo)體晶圓快速冷卻裝置故障報警。

  操作半導(dǎo)體晶圓快速冷卻裝置開機(jī)時應(yīng)當(dāng)注意以下幾點:

  1、一般壓縮機(jī)等部件的電壓范圍是不允許超過額定電壓的范圍,如果機(jī)組在運行時出現(xiàn)電壓不穩(wěn)定或是缺相等故障,嚴(yán)重的會造成壓縮機(jī)、水泵等電機(jī)部件燒毀。所以檢查半導(dǎo)體晶圓快速冷卻裝置的供電電壓值是否與設(shè)備標(biāo)示的電壓、頻率一致是非常重要的,另外還需要檢查半導(dǎo)體晶圓快速冷卻裝置電控部分如接觸器、傳感器等部件的接線是否牢固。

  2、檢查完電控系統(tǒng)、水循環(huán)系統(tǒng),還需要檢查制冷系統(tǒng),這里一般是查看半導(dǎo)體晶圓快速冷卻裝置上的高壓壓力表和低壓壓力表,通過上面顯示的壓力值我們可以判定半導(dǎo)體晶圓快速冷卻裝置的制冷劑及系統(tǒng)是否正常,如果出現(xiàn)壓力值為零或是高低壓超出正常范圍,那就需要排查故障后再啟動半導(dǎo)體晶圓快速冷卻裝置。

  3、我們檢查完半導(dǎo)體晶圓快速冷卻裝置的電路以后,還要檢查水路系統(tǒng)(可能包含冷卻水系統(tǒng)、冷凍水系統(tǒng)以及供水水源等)是否運轉(zhuǎn)正常,如水循環(huán)管路上的閥門是否已經(jīng)打開等等。

  4、確保半導(dǎo)體晶圓快速冷卻裝置的長期穩(wěn)定運行需要操作人員更多地了解半導(dǎo)體晶圓快速冷卻裝置的相關(guān)知識,如部件構(gòu)成及運行原理、規(guī)范操作流程和保養(yǎng)知識等等,當(dāng)然如果能有專人來負(fù)責(zé)操作和維護(hù)那樣就更好了。

設(shè)備操作人員應(yīng)當(dāng)仔細(xì)閱讀半導(dǎo)體晶圓快速冷卻裝置的使用說明以及半導(dǎo)體晶圓快速冷卻裝置廠家所提供的技術(shù)培訓(xùn)內(nèi)容,按步驟操作及維護(hù)保養(yǎng)半導(dǎo)體晶圓快速冷卻裝置,這樣才能確保半導(dǎo)體晶圓快速冷卻裝置穩(wěn)定地運行。

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