簡(jiǎn)要描述:元器件高低溫測(cè)試裝置在用于惡劣環(huán)境的半導(dǎo)體電子元件的制造中,IC封裝組裝和工程和生產(chǎn)的測(cè)試階段包括在溫度(-85℃至+ 250℃)下的電子冷熱測(cè)試和其他環(huán)境測(cè)試模擬。光刻機(jī)溫度控制裝置安裝注意事項(xiàng)
品牌 | LNEYA/無(wú)錫冠亞 | 冷卻方式 | 風(fēng)冷式 |
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價(jià)格區(qū)間 | 5萬(wàn)-10萬(wàn) | 產(chǎn)地類(lèi)別 | 國(guó)產(chǎn) |
儀器種類(lèi) | 一體式 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 化工,電子,航天,制藥,汽車(chē) |
型號(hào) | AES-4535 AES-4535W | AES-6035 AES-6035W | AES-8035 AES-8035W | AES-A1035W | AES-A1235W | |
溫度范圍 | -45℃~225℃ | -60℃~225℃ | -80℃~225℃ | -100℃~225℃ | -120℃~225℃ | |
制冷量 | -45℃ | 2.5kW | ||||
-60℃ | 2kW | |||||
-80℃ | 1.5kW | |||||
-100℃ | 1.2kW | |||||
-120℃ | 1.2kW | |||||
溫控精度 | ±0.5℃ | ±0.5℃ | ±1℃ | ±1℃ | ±1℃ | |
溫度轉(zhuǎn)換時(shí)間 | -25℃ to 150℃ 約10S 150℃to -25℃ 約20s | -45℃ to 150℃ 約10S 150℃to -45℃ 約20s | -55℃ to 150℃ 約10S 150℃to -55℃ 約15s | -70℃ to 150℃ 約10S 150℃to -70℃ 約20s | -80℃ to 150℃ 約11S 150℃to -80℃ 約20s | |
空氣要求 | 空氣濾清器<5um 空氣含油量:<0.1ppm 空氣溫濕度:5℃~32℃ 0~50%RH | |||||
空氣處理能力 | 7m³/h ~ 25m³/h 壓力5bar~7.6bar | |||||
系統(tǒng)壓力顯示 | 制冷系統(tǒng)壓力采用指針式壓力表實(shí)現(xiàn)(高壓、低壓) 循環(huán)系統(tǒng)壓力采用壓力傳感器檢測(cè)顯示在觸摸屏上 | |||||
控制器 | 西門(mén)子PLC,模糊PID控制算法 | |||||
溫度控制 | 控制出風(fēng)口溫度 | |||||
可編程 | 可編制10條程序,每條程序可編制10段步驟 | |||||
通信協(xié)議 | 以太網(wǎng)接口TCP/IP協(xié)議 | |||||
設(shè)備內(nèi)部溫度反饋 | 設(shè)備出口溫度、制冷系統(tǒng)冷凝溫度、環(huán)境溫度、壓縮機(jī)吸氣溫度、冷卻水溫度(水冷設(shè)備有) | |||||
溫度反饋 | T型溫度傳感器 | |||||
壓縮機(jī) | 法國(guó)泰康/艾默生 | |||||
蒸發(fā)器 | 套管式換熱器 | |||||
加熱器 | 法蘭式桶狀加熱器 | |||||
制冷附件 | 丹佛斯/艾默生配件(干燥過(guò)濾器、油分離器、高低壓保護(hù)器、膨脹閥、電磁閥) | |||||
操作面板 | 無(wú)錫冠亞定制7英寸彩色觸摸屏,溫度曲線顯示EXCEL 數(shù)據(jù)導(dǎo)出 | |||||
安全防護(hù) | 具有自我診斷功能;相序斷相保護(hù)器、冷凍機(jī)過(guò)載保護(hù);高壓壓力開(kāi)關(guān),過(guò)載繼電器、熱保護(hù)裝置等多種安全保障功能。 | |||||
制冷劑 | 冠亞混合制冷劑 | |||||
外接保溫軟管 | 方便外送保溫軟管1.8m DN32快接卡箍 | |||||
外型尺寸(風(fēng))cm | 54*69*132 | 54*69*132 | 75*73*133 | 80*120*185 | 100*150*185 | |
外型尺寸(水)cm | 54*69*132 | 54*69*132 | 75*73*133 | 70*100*175 | 80*120*185 | |
風(fēng)冷型 | 采用銅管鋁翅片冷凝方式,冷凝風(fēng)機(jī)采用德國(guó)EBM軸流風(fēng)機(jī) | |||||
水冷型 W | 帶W型號(hào)為水冷型 | |||||
水冷冷凝器 | 板式換熱器(務(wù)必確保冷卻水清潔) | |||||
冷卻水量 at 25℃ | 0.6m³/h G3/8 | 1.2m³/h G3/4 | 1.6m³/h G1 | 2.6m³/h G1 | 3m³/h G1 | |
電源 50HZ max | 3.7kW 220V | 5kW 220V | 5kW 220V | 6.8kW 220V | 7.5kW 220V | |
電源 | 可定制460V 60HZ、220V 60HZ 三相 | |||||
外殼材質(zhì) | 冷軋板噴塑 (標(biāo)準(zhǔn)顏色7035) | |||||
溫度擴(kuò)展 | 高溫到 +300℃ |
光刻機(jī)溫度控制裝置安裝注意事項(xiàng)
光刻機(jī)溫度控制裝置安裝注意事項(xiàng)
市場(chǎng)上關(guān)于光刻機(jī)溫度控制裝置的類(lèi)型有多種,不同類(lèi)型的光刻機(jī)溫度控制裝置其使用方法、作用、結(jié)構(gòu)等都存在一定的差異,所以企業(yè)在選擇時(shí)根據(jù)企業(yè)的狀況選擇適合自己的產(chǎn)品。
一、光刻機(jī)溫度控制裝置的安裝方法:
(1)光刻機(jī)溫度控制裝置運(yùn)行時(shí)要產(chǎn)生熱量,應(yīng)確保冷卻空氣的流通,安裝時(shí)周?chē)鷳?yīng)留有一定的空間,產(chǎn)生的熱量向上散發(fā),所以不要安裝在不耐熱設(shè)備的周?chē)?/font>
(2)光刻機(jī)溫度控制裝置應(yīng)直接安裝在水平面,請(qǐng)勿倒裝、斜裝或垂直安裝。
(3)光刻機(jī)溫度控制裝置不能安裝在有各種纖維、紙片(屑)、金屬碎塊等場(chǎng)所。
(4)光刻機(jī)溫度控制裝置的出水口應(yīng)與您的儀器的進(jìn)水口相連接,儀器的出水口應(yīng)與本冷卻循環(huán)水機(jī)的進(jìn)水口相連接。
二、光刻機(jī)溫度控制裝置的注意事項(xiàng):
(1)電源一定要連接于主電源端子。如果錯(cuò)將電源連接于其它端子,將損壞冷卻循環(huán)水機(jī)。另外應(yīng)確認(rèn)電源電壓是否在允許電壓范圍內(nèi)。
(2)接地端子須良好接地,防止電擊或火災(zāi)事故。
(3)如是分體機(jī),室內(nèi)機(jī)與室外機(jī)的氟路連接須由凍水機(jī)、光刻機(jī)溫度控制裝置廠家的技術(shù)人員負(fù)責(zé)安裝或調(diào)試。
(4)光刻機(jī)溫度控制裝置,應(yīng)見(jiàn)各接線端子,接線時(shí)千萬(wàn)不要接錯(cuò)線。
(5)各端子和連接線之間是否有短路或?qū)Φ囟搪贰?/font>
(6)如使用溫度較低請(qǐng)?jiān)谘h(huán)液里加上防凍液。
(7)一定要用壓接端子連接端子和導(dǎo)線,保證連接的可靠性。
(8)完成電路連接后,請(qǐng)檢查連接是否都正確無(wú)誤。
(9)有無(wú)漏接線。