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光刻機冷卻循環(huán)水裝置常見故障知識說明

簡要描述:元器件高低溫測試裝置在用于惡劣環(huán)境的半導(dǎo)體電子元件的制造中,IC封裝組裝和工程和生產(chǎn)的測試階段包括在溫度(-85℃至+ 250℃)下的電子冷熱測試和其他環(huán)境測試模擬。光刻機冷卻循環(huán)水裝置常見故障知識說明

  • 產(chǎn)品型號:AES-4535
  • 廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
  • 更新時間:2024-01-07
  • 訪  問  量:2132
詳情介紹
品牌LNEYA/無錫冠亞冷卻方式風(fēng)冷式
價格區(qū)間5萬-10萬產(chǎn)地類別國產(chǎn)
儀器種類一體式應(yīng)用領(lǐng)域化工,電子,航天,制藥,汽車

<strong><strong><strong><strong>蝕刻液冷卻裝置的類型和機油要求</strong></strong></strong></strong>

 型號AES-4535
 AES-4535W
AES-6035
 AES-6035W
AES-8035
 AES-8035W
AES-A1035WAES-A1235W
溫度范圍-45℃~225℃-60℃~225℃-80℃~225℃-100℃~225℃-120℃~225℃
制冷量-45℃2.5kW    
-60℃ 2kW   
-80℃  1.5kW  
-100℃   1.2kW 
-120℃    1.2kW
溫控精度±0.5℃±0.5℃±1℃±1℃±1℃
溫度轉(zhuǎn)換時間-25℃ to 150℃ 約10S
150℃to  -25℃
約20s
-45℃ to 150℃ 約10S
150℃to  -45℃
約20s
-55℃ to 150℃ 約10S
150℃to  -55℃
約15s
-70℃ to 150℃ 約10S
150℃to  -70℃
約20s
-80℃ to 150℃ 約11S
150℃to  -80℃
約20s
空氣要求空氣濾清器<5um
空氣含油量:<0.1ppm
空氣溫濕度:5℃~32℃  0~50%RH
空氣處理能力7m³/h ~ 25m³/h  壓力5bar~7.6bar
系統(tǒng)壓力顯示制冷系統(tǒng)壓力采用指針式壓力表實現(xiàn)(高壓、低壓)
循環(huán)系統(tǒng)壓力采用壓力傳感器檢測顯示在觸摸屏上
控制器西門子PLC,模糊PID控制算法
溫度控制控制出風(fēng)口溫度
可編程可編制10條程序,每條程序可編制10段步驟
通信協(xié)議以太網(wǎng)接口TCP/IP協(xié)議
設(shè)備內(nèi)部溫度反饋設(shè)備出口溫度、制冷系統(tǒng)冷凝溫度、環(huán)境溫度、壓縮機吸氣溫度、冷卻水溫度(水冷設(shè)備有)
溫度反饋T型溫度傳感器
壓縮機法國泰康/艾默生
蒸發(fā)器套管式換熱器
加熱器法蘭式桶狀加熱器
制冷附件丹佛斯/艾默生配件(干燥過濾器、油分離器、高低壓保護器、膨脹閥、電磁閥)
操作面板無錫冠亞定制7英寸彩色觸摸屏,溫度曲線顯示EXCEL 數(shù)據(jù)導(dǎo)出
安全防護具有自我診斷功能;相序斷相保護器、冷凍機過載保護;高壓壓力開關(guān),過載繼電器、熱保護裝置等多種安全保障功能。
制冷劑冠亞混合制冷劑
外接保溫軟管方便外送保溫軟管1.8m DN32快接卡箍
外型尺寸(風(fēng))cm54*69*13254*69*13275*73*13380*120*185100*150*185
外型尺寸(水)cm54*69*13254*69*13275*73*13370*100*17580*120*185
風(fēng)冷型采用銅管鋁翅片冷凝方式,冷凝風(fēng)機采用德國EBM軸流風(fēng)機
水冷型 W帶W型號為水冷型
水冷冷凝器板式換熱器(務(wù)必確保冷卻水清潔)
冷卻水量 at 25℃0.6m³/h
G3/8
1.2m³/h
G3/4
1.6m³/h
G1
2.6m³/h
G1
3m³/h
G1
電源 50HZ max3.7kW 220V5kW 220V5kW 220V6.8kW 220V7.5kW 220V
電源可定制460V 60HZ、220V 60HZ 三相
外殼材質(zhì)冷軋板噴塑 (標(biāo)準顏色7035)
溫度擴展高溫到 +300℃

 

 

<strong><strong><strong><strong>蝕刻液冷卻裝置的類型和機油要求</strong></strong></strong></strong><strong><strong><strong><strong>蝕刻液冷卻裝置的類型和機油要求</strong></strong></strong></strong><strong><strong><strong><strong>蝕刻液冷卻裝置的類型和機油要求</strong></strong></strong></strong>

<strong><strong><strong><strong>蝕刻液冷卻裝置的類型和機油要求</strong></strong></strong></strong>

光刻機冷卻循環(huán)水裝置常見故障知識說明

光刻機冷卻循環(huán)水裝置常見故障知識說明

  1、制冷壓縮機內(nèi)無敲擊聲,壓縮機正常運轉(zhuǎn),膨脹閥開度調(diào)節(jié)合適,運轉(zhuǎn)中只有壓縮機吸、排氣聲,不產(chǎn)生敲擊或其它不正常聲響。

  2、壓縮機各摩擦部位溫度正常,無激熱現(xiàn)象。壓縮機各摩擦部位、軸承與軸頸接觸良好,潤滑正常,不產(chǎn)生超過環(huán)境溫度。

  3、曲軸箱油面處在正常位置,一般壓縮機曲軸箱正常油面應(yīng)在視油鏡中間位置。如果是兩個油鏡,則正常油面應(yīng)在上油鏡的水平線上,但低不得低于下油鏡水平線或見不到油位。另外,在壓縮機運轉(zhuǎn)過程中滑油不應(yīng)起泡。

  4、油壓過低會造成各摩部件表面的干摩或卸載一能量調(diào)節(jié)機構(gòu)動作遲緩;油壓過高不但易損壞油泵軸、鍵及傳動件,而且會使各摩擦面之間進油過多,增加摩擦阻力。。

  5、壓縮機無結(jié)霜現(xiàn)象,制冷系統(tǒng)工作過程中壓縮機回氣管路結(jié)霜應(yīng)屬正常現(xiàn)象,但當(dāng)操作不良或膨脹閥調(diào)整不當(dāng)時,往往會造成壓縮機氣缸壁和機體結(jié)霜嚴重時可能造成壓縮機“液擊”。

  6、光刻機冷卻循環(huán)水裝置制冷系統(tǒng)各輔助設(shè)備處于正常工作狀態(tài),膨脹閥開度適當(dāng);各風(fēng)機及電機運轉(zhuǎn)平穩(wěn);水循環(huán)系統(tǒng)的水泵運轉(zhuǎn)正常,無異常聲響;水循環(huán)管路及各連接處無嚴重漏水現(xiàn)象;更重要的是制冷系統(tǒng)所有設(shè)備連接管路不允許有制冷劑泄漏現(xiàn)象。

  7、光刻機冷卻循環(huán)水裝置制冷系統(tǒng)所有壓力及溫度指示正確,壓力表、溫度表指針穩(wěn)定;高、低油壓控制器調(diào)整適當(dāng),在所要求之壓力數(shù)值范圍內(nèi)能起到自動控制和保護作用。

8、制冷系統(tǒng)正常工作時,其冷凝壓力與冷凝溫度,蒸發(fā)壓力與蒸發(fā)溫度呈對應(yīng)關(guān)系。

 

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