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光刻機(jī)用冷水機(jī)組油堵故障知識(shí)分享

簡(jiǎn)要描述:元器件高低溫測(cè)試裝置在用于惡劣環(huán)境的半導(dǎo)體電子元件的制造中,IC封裝組裝和工程和生產(chǎn)的測(cè)試階段包括在溫度(-85℃至+ 250℃)下的電子冷熱測(cè)試和其他環(huán)境測(cè)試模擬。光刻機(jī)用冷水機(jī)組油堵故障知識(shí)分享

  • 產(chǎn)品型號(hào):AES-4535
  • 廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
  • 更新時(shí)間:2024-01-07
  • 訪  問  量:1847
詳情介紹
品牌LNEYA/無(wú)錫冠亞冷卻方式風(fēng)冷式
價(jià)格區(qū)間5萬(wàn)-10萬(wàn)產(chǎn)地類別國(guó)產(chǎn)
儀器種類一體式應(yīng)用領(lǐng)域化工,電子,航天,制藥,汽車

<strong><strong><strong><strong>蝕刻液冷卻裝置的類型和機(jī)油要求</strong></strong></strong></strong>

 型號(hào)AES-4535
 AES-4535W
AES-6035
 AES-6035W
AES-8035
 AES-8035W
AES-A1035WAES-A1235W
溫度范圍-45℃~225℃-60℃~225℃-80℃~225℃-100℃~225℃-120℃~225℃
制冷量-45℃2.5kW    
-60℃ 2kW   
-80℃  1.5kW  
-100℃   1.2kW 
-120℃    1.2kW
溫控精度±0.5℃±0.5℃±1℃±1℃±1℃
溫度轉(zhuǎn)換時(shí)間-25℃ to 150℃ 約10S
150℃to  -25℃
約20s
-45℃ to 150℃ 約10S
150℃to  -45℃
約20s
-55℃ to 150℃ 約10S
150℃to  -55℃
約15s
-70℃ to 150℃ 約10S
150℃to  -70℃
約20s
-80℃ to 150℃ 約11S
150℃to  -80℃
約20s
空氣要求空氣濾清器<5um
空氣含油量:<0.1ppm
空氣溫濕度:5℃~32℃  0~50%RH
空氣處理能力7m³/h ~ 25m³/h  壓力5bar~7.6bar
系統(tǒng)壓力顯示制冷系統(tǒng)壓力采用指針式壓力表實(shí)現(xiàn)(高壓、低壓)
循環(huán)系統(tǒng)壓力采用壓力傳感器檢測(cè)顯示在觸摸屏上
控制器西門子PLC,模糊PID控制算法
溫度控制控制出風(fēng)口溫度
可編程可編制10條程序,每條程序可編制10段步驟
通信協(xié)議以太網(wǎng)接口TCP/IP協(xié)議
設(shè)備內(nèi)部溫度反饋設(shè)備出口溫度、制冷系統(tǒng)冷凝溫度、環(huán)境溫度、壓縮機(jī)吸氣溫度、冷卻水溫度(水冷設(shè)備有)
溫度反饋T型溫度傳感器
壓縮機(jī)法國(guó)泰康/艾默生
蒸發(fā)器套管式換熱器
加熱器法蘭式桶狀加熱器
制冷附件丹佛斯/艾默生配件(干燥過濾器、油分離器、高低壓保護(hù)器、膨脹閥、電磁閥)
操作面板無(wú)錫冠亞定制7英寸彩色觸摸屏,溫度曲線顯示EXCEL 數(shù)據(jù)導(dǎo)出
安全防護(hù)具有自我診斷功能;相序斷相保護(hù)器、冷凍機(jī)過載保護(hù);高壓壓力開關(guān),過載繼電器、熱保護(hù)裝置等多種安全保障功能。
制冷劑冠亞混合制冷劑
外接保溫軟管方便外送保溫軟管1.8m DN32快接卡箍
外型尺寸(風(fēng))cm54*69*13254*69*13275*73*13380*120*185100*150*185
外型尺寸(水)cm54*69*13254*69*13275*73*13370*100*17580*120*185
風(fēng)冷型采用銅管鋁翅片冷凝方式,冷凝風(fēng)機(jī)采用德國(guó)EBM軸流風(fēng)機(jī)
水冷型 W帶W型號(hào)為水冷型
水冷冷凝器板式換熱器(務(wù)必確保冷卻水清潔)
冷卻水量 at 25℃0.6m³/h
G3/8
1.2m³/h
G3/4
1.6m³/h
G1
2.6m³/h
G1
3m³/h
G1
電源 50HZ max3.7kW 220V5kW 220V5kW 220V6.8kW 220V7.5kW 220V
電源可定制460V 60HZ、220V 60HZ 三相
外殼材質(zhì)冷軋板噴塑 (標(biāo)準(zhǔn)顏色7035)
溫度擴(kuò)展高溫到 +300℃

 

 

<strong><strong><strong><strong>蝕刻液冷卻裝置的類型和機(jī)油要求</strong></strong></strong></strong><strong><strong><strong><strong>蝕刻液冷卻裝置的類型和機(jī)油要求</strong></strong></strong></strong><strong><strong><strong><strong>蝕刻液冷卻裝置的類型和機(jī)油要求</strong></strong></strong></strong>

<strong><strong><strong><strong>蝕刻液冷卻裝置的類型和機(jī)油要求</strong></strong></strong></strong>

光刻機(jī)用冷水機(jī)組油堵故障知識(shí)分享

光刻機(jī)用冷水機(jī)組油堵故障知識(shí)分享

  光刻機(jī)冷水機(jī)組產(chǎn)生油堵的主要原因:壓縮機(jī)缸體磨損嚴(yán)重或活塞與氣缸配合間隙過大所致。

  隨光刻機(jī)冷水機(jī)組壓縮機(jī)排汽油被排入冷凝器,進(jìn)而隨同制冷劑一起進(jìn)入干燥過濾器,由于油的粘度較大,被過濾器內(nèi)的干燥劑阻住,油過多時(shí)在過濾器處形成堵塞,使制冷劑不能正常循環(huán),制冷設(shè)備不制冷。

  造成光刻機(jī)冷水機(jī)組其他管路堵塞的原因是:在焊接管路時(shí)被焊料堵塞;或在更換管子時(shí)所更換的管子本身已堵塞而未發(fā)現(xiàn),以上堵塞都是人為因素造成,因此要求在焊接和更換管子時(shí),應(yīng)按要求進(jìn)行操作和檢查,就不會(huì)造成人為堵塞故障了。

  光刻機(jī)冷水機(jī)組油堵故障的排除:產(chǎn)生油堵故障,說(shuō)明在光刻機(jī)冷水機(jī)組內(nèi)殘存有過多的冷凍機(jī)油,以致影響制冷效果,甚至不能制冷,因此將系統(tǒng)內(nèi)的冷凍機(jī)油清除干凈。

  光刻機(jī)冷水機(jī)組過濾器油堵時(shí)應(yīng)更換新過濾器,同時(shí)用高壓氮?dú)獯党隼淠鲀?nèi)積存的部分冷凍機(jī)油,在通入氮?dú)鈺r(shí)可用電吹風(fēng)機(jī)加熱冷凝器。

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