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光刻機(jī)制冷機(jī)組靠譜操作規(guī)范及注意事項(xiàng)

簡(jiǎn)要描述:元器件高低溫測(cè)試裝置在用于惡劣環(huán)境的半導(dǎo)體電子元件的制造中,IC封裝組裝和工程和生產(chǎn)的測(cè)試階段包括在溫度(-85℃至+ 250℃)下的電子冷熱測(cè)試和其他環(huán)境測(cè)試模擬。光刻機(jī)制冷機(jī)組靠譜操作規(guī)范及注意事項(xiàng)

  • 產(chǎn)品型號(hào):AES-4535
  • 廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
  • 更新時(shí)間:2024-01-07
  • 訪  問(wèn)  量:2439
詳情介紹
品牌LNEYA/無(wú)錫冠亞冷卻方式風(fēng)冷式
價(jià)格區(qū)間5萬(wàn)-10萬(wàn)產(chǎn)地類(lèi)別國(guó)產(chǎn)
儀器種類(lèi)一體式應(yīng)用領(lǐng)域化工,電子,航天,制藥,汽車(chē)

<strong><strong><strong><strong>蝕刻液冷卻裝置的類(lèi)型和機(jī)油要求</strong></strong></strong></strong>

 型號(hào)AES-4535
 AES-4535W
AES-6035
 AES-6035W
AES-8035
 AES-8035W
AES-A1035WAES-A1235W
溫度范圍-45℃~225℃-60℃~225℃-80℃~225℃-100℃~225℃-120℃~225℃
制冷量-45℃2.5kW    
-60℃ 2kW   
-80℃  1.5kW  
-100℃   1.2kW 
-120℃    1.2kW
溫控精度±0.5℃±0.5℃±1℃±1℃±1℃
溫度轉(zhuǎn)換時(shí)間-25℃ to 150℃ 約10S
150℃to  -25℃
約20s
-45℃ to 150℃ 約10S
150℃to  -45℃
約20s
-55℃ to 150℃ 約10S
150℃to  -55℃
約15s
-70℃ to 150℃ 約10S
150℃to  -70℃
約20s
-80℃ to 150℃ 約11S
150℃to  -80℃
約20s
空氣要求空氣濾清器<5um
空氣含油量:<0.1ppm
空氣溫濕度:5℃~32℃  0~50%RH
空氣處理能力7m³/h ~ 25m³/h  壓力5bar~7.6bar
系統(tǒng)壓力顯示制冷系統(tǒng)壓力采用指針式壓力表實(shí)現(xiàn)(高壓、低壓)
循環(huán)系統(tǒng)壓力采用壓力傳感器檢測(cè)顯示在觸摸屏上
控制器西門(mén)子PLC,模糊PID控制算法
溫度控制控制出風(fēng)口溫度
可編程可編制10條程序,每條程序可編制10段步驟
通信協(xié)議以太網(wǎng)接口TCP/IP協(xié)議
設(shè)備內(nèi)部溫度反饋設(shè)備出口溫度、制冷系統(tǒng)冷凝溫度、環(huán)境溫度、壓縮機(jī)吸氣溫度、冷卻水溫度(水冷設(shè)備有)
溫度反饋T型溫度傳感器
壓縮機(jī)法國(guó)泰康/艾默生
蒸發(fā)器套管式換熱器
加熱器法蘭式桶狀加熱器
制冷附件丹佛斯/艾默生配件(干燥過(guò)濾器、油分離器、高低壓保護(hù)器、膨脹閥、電磁閥)
操作面板無(wú)錫冠亞定制7英寸彩色觸摸屏,溫度曲線(xiàn)顯示EXCEL 數(shù)據(jù)導(dǎo)出
安全防護(hù)具有自我診斷功能;相序斷相保護(hù)器、冷凍機(jī)過(guò)載保護(hù);高壓壓力開(kāi)關(guān),過(guò)載繼電器、熱保護(hù)裝置等多種安全保障功能。
制冷劑冠亞混合制冷劑
外接保溫軟管方便外送保溫軟管1.8m DN32快接卡箍
外型尺寸(風(fēng))cm54*69*13254*69*13275*73*13380*120*185100*150*185
外型尺寸(水)cm54*69*13254*69*13275*73*13370*100*17580*120*185
風(fēng)冷型采用銅管鋁翅片冷凝方式,冷凝風(fēng)機(jī)采用德國(guó)EBM軸流風(fēng)機(jī)
水冷型 W帶W型號(hào)為水冷型
水冷冷凝器板式換熱器(務(wù)必確保冷卻水清潔)
冷卻水量 at 25℃0.6m³/h
G3/8
1.2m³/h
G3/4
1.6m³/h
G1
2.6m³/h
G1
3m³/h
G1
電源 50HZ max3.7kW 220V5kW 220V5kW 220V6.8kW 220V7.5kW 220V
電源可定制460V 60HZ、220V 60HZ 三相
外殼材質(zhì)冷軋板噴塑 (標(biāo)準(zhǔn)顏色7035)
溫度擴(kuò)展高溫到 +300℃

 

 

<strong><strong><strong><strong>蝕刻液冷卻裝置的類(lèi)型和機(jī)油要求</strong></strong></strong></strong><strong><strong><strong><strong>蝕刻液冷卻裝置的類(lèi)型和機(jī)油要求</strong></strong></strong></strong><strong><strong><strong><strong>蝕刻液冷卻裝置的類(lèi)型和機(jī)油要求</strong></strong></strong></strong>

<strong><strong><strong><strong>蝕刻液冷卻裝置的類(lèi)型和機(jī)油要求</strong></strong></strong></strong>

光刻機(jī)制冷機(jī)組靠譜操作規(guī)范及注意事項(xiàng)

光刻機(jī)制冷機(jī)組靠譜操作規(guī)范及注意事項(xiàng)

  光刻機(jī)制冷機(jī)組這是可以提供恒定溫度,電流和壓力的冷卻水設(shè)備使用時(shí),應(yīng)注意以下事項(xiàng)。

  1.在安裝過(guò)程中,請(qǐng)檢查機(jī)器是否損壞,并選擇合適的位置進(jìn)行安裝和以后的維護(hù)。

  2.設(shè)備的安裝地點(diǎn)是地板,安裝墊或地基,且水平度應(yīng)在范圍之內(nèi),并且能夠承受設(shè)備的工作重量。

  3.單元應(yīng)放置在室溫下,單元周?chē)蜕戏綉?yīng)有足夠的空間進(jìn)行日常維護(hù)。

  4.在單元的一端,應(yīng)保留用于清潔冷凝器管束的抽氣空間,也可以使用門(mén)的開(kāi)口或其他位置合適的孔。

  5.當(dāng)設(shè)備以大功率運(yùn)行時(shí),選擇具有適當(dāng)管徑的水管,冷卻系統(tǒng)和冷水系統(tǒng),并正確連接它們。

  6.對(duì)于普通應(yīng)用,通過(guò)蒸發(fā)器和冷凝器的水流速應(yīng)在范圍之間。

  7.在負(fù)載下,水流均應(yīng)保持穩(wěn)定。

  8.所有冷凍水和冷卻水管應(yīng)按照常規(guī)方法進(jìn)行設(shè)計(jì)和安裝。冷凍水泵應(yīng)位于設(shè)備的進(jìn)水管上,以確保設(shè)備中的正壓和流量。配管時(shí),應(yīng)設(shè)置減震管,以確保適當(dāng)?shù)膹椥裕⒃谒猛V箷r(shí)防止蒸發(fā)器的水排出。

  9.應(yīng)獨(dú)立于組光刻機(jī)制冷機(jī)組牢固地支撐管道,以避免對(duì)組光刻機(jī)制冷機(jī)組的組件施加壓力。吊架的位置應(yīng)便于管道對(duì)齊。

  10.為了減少噪音和振動(dòng),好在管道上安裝振動(dòng)隔離器。

  11.為了經(jīng)濟(jì)有效地使用第光刻機(jī)制冷機(jī)組組,建議請(qǐng)水處理專(zhuān)家分析蒸發(fā)器和冷凝器的水質(zhì)。水質(zhì)差會(huì)導(dǎo)致結(jié)垢,影響傳熱,產(chǎn)生腐蝕沉淀,滋生有機(jī)物,影響裝置的性能并增加運(yùn)行和維護(hù)成本。

  12.一般來(lái)說(shuō),正確的水處理和定期清潔管束可以保持其良好性能。如果不能通過(guò)適當(dāng)?shù)姆椒ǜ纳片F(xiàn)有的水質(zhì)狀況,則使管束具有較大的結(jié)垢系數(shù)或使用特殊的結(jié)構(gòu)材料。

在操作光刻機(jī)制冷機(jī)組時(shí),請(qǐng)注意上述事項(xiàng),這一定會(huì)使您受益。

 

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