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光刻機(jī)用冷水機(jī)的出廠(chǎng)調(diào)試注意事項(xiàng)

 更新時(shí)間:2022-11-02 點(diǎn)擊量:967

  光刻機(jī)用冷水機(jī)是工業(yè)冷水機(jī)的一種,而每一臺(tái)設(shè)備在出廠(chǎng)前都需要經(jīng)過(guò)詳細(xì)的檢測(cè)過(guò)程。那么在出廠(chǎng)前需要調(diào)試哪些內(nèi)容呢。

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  1、光刻機(jī)用冷水機(jī)的電流里調(diào)試

  光刻機(jī)用冷水機(jī)在運(yùn)行的時(shí)候可以檢測(cè)光刻機(jī)用冷水機(jī)循環(huán)泵中的電流里,廠(chǎng)家也可以由此判斷電流里的變化,是過(guò)大還是過(guò)小,方便觀(guān)察水系統(tǒng)的狀況。

  2、靜水壓調(diào)試

  光刻機(jī)用冷水機(jī)的出水里、進(jìn)水管壓力值同樣是非常重要的,廠(chǎng)家和客戶(hù)可以通過(guò)出水里的多少來(lái)判斷光刻機(jī)用冷水機(jī)的運(yùn)行是否正常,可以判斷出來(lái)是哪—段軟管壓力值稍大,方便修整;

  3、銅管深吸氣溫度調(diào)試

  運(yùn)行光刻機(jī)用冷水機(jī)大概半個(gè)小時(shí)候,如果壓縮機(jī)的深吸氣溫度少于0度的時(shí)候,說(shuō)明了換熱器中的出水里沒(méi)有達(dá)到固定值。容易造成揮發(fā)力下挫。

  3、光刻機(jī)用冷水機(jī)冷量過(guò)小時(shí),會(huì)使蒸發(fā)器供液不足,產(chǎn)生過(guò)大熱度,對(duì)系統(tǒng)性能會(huì)造成不利的影響。當(dāng)光刻機(jī)用冷水機(jī)冷量過(guò)大時(shí),會(huì)引起震蕩,間歇性的使蒸發(fā)器供液過(guò)量,導(dǎo)致壓縮機(jī)的吸氣壓力出現(xiàn)劇烈波動(dòng),甚至有液態(tài)制冷劑進(jìn)入壓縮機(jī),引起液擊(濕沖程)現(xiàn)象。

4、制冷系統(tǒng)的穩(wěn)定性與蒸發(fā)器出口端制冷劑過(guò)熱度有關(guān),因此及時(shí)準(zhǔn)確的排除熱力膨脹閥的故障及正確的選擇與系統(tǒng)匹配的熱力膨脹閥是很重要。