半導體晶圓冷卻裝置在長時間的使用過程中,也需要對半導體晶圓冷卻裝置進行必要的檢查和維護保養(yǎng),定期維護有利于半導體晶圓冷卻裝置制冷效率,同時也有利于延長壽命。
1、檢查并且校正半導體晶圓冷卻裝置溫控器,確保溫控器正常顯示。
2、檢查半導體晶圓冷卻裝置的冷媒量,如果不夠,需要及時補充冷媒。
3、對半導體晶圓冷卻裝置的整個電控系統、主機電路系統做一次徹查,確保正常。
4、試機運行并進行總校正,測試過熱度是否正常,各個部件有無異常聲音等。
5、清洗半導體晶圓冷卻裝置的冷凝器/蒸發(fā)器,如果水質不是太差的話,建議累積運行半年清洗一次。半導體晶圓冷卻裝置在長時間運行當中,會有很多水雜質產生,會影響制冷效果以及使用壽命等。
6、檢查冷凍油及潤滑油系統,如有污染建議對其進行更換,以利壓縮機更加自如的運轉。
7、對半導體晶圓冷卻裝置壓縮機馬達線圈進行測試。
8、檢查并且校正半導體晶圓冷卻裝置的高、低壓壓力開關,確定高、低壓壓力在正常范圍內。
9、檢查干燥過濾器是否正常,有沒有堵塞,必要時應予以更換全新的干燥過濾器。