1、制冷壓縮機內(nèi)無敲擊聲，壓縮機正常運轉(zhuǎn)，膨脹閥開度調(diào)節(jié)合適，運轉(zhuǎn)中只有壓縮機吸、排氣聲，不產(chǎn)生敲擊或其它不正常聲響。

　　2、壓縮機各摩擦部位溫度正常，無激熱現(xiàn)象。壓縮機各摩擦部位、軸承與軸頸接觸良好，潤滑正常，不產(chǎn)生超過環(huán)境溫度。

　　3、曲軸箱油面處在正常位置，一般壓縮機曲軸箱正常油面應在視油鏡中間位置。如果是兩個油鏡，則正常油面應在上油鏡的水平線上，但低不得低于下油鏡水平線或見不到油位。另外，在壓縮機運轉(zhuǎn)過程中滑油不應起泡。

　　4、油壓過低會造成各摩部件表面的干摩或卸載一能量調(diào)節(jié)機構動作遲緩；油壓過高不但易損壞油泵軸、鍵及傳動件，而且會使各摩擦面之間進油過多，增加摩擦阻力。。

　　5、壓縮機無結霜現(xiàn)象，制冷系統(tǒng)工作過程中，壓縮機回氣管路結霜應屬正常現(xiàn)象，但當操作不良或膨脹閥調(diào)整不當時，往往會造成壓縮機氣缸壁和機體結霜，嚴重時可能造成壓縮機“液擊”。

　　6、光刻機冷卻循環(huán)水裝置制冷系統(tǒng)各輔助設備處于正常工作狀態(tài)，膨脹閥開度適當；各風機及電機運轉(zhuǎn)平穩(wěn)；水循環(huán)系統(tǒng)的水泵運轉(zhuǎn)正常，無異常聲響；水循環(huán)管路及各連接處無嚴重漏水現(xiàn)象；更重要的是制冷系統(tǒng)所有設備連接管路不允許有制冷劑泄漏現(xiàn)象。

　　7、光刻機冷卻循環(huán)水裝置制冷系統(tǒng)所有壓力及溫度指示正確，壓力表、溫度表指針穩(wěn)定；高、低油壓控制器調(diào)整適當，在所要求之壓力數(shù)值范圍內(nèi)能起到自動控制和保護作用。

8、制冷系統(tǒng)正常工作時，其冷凝壓力與冷凝溫度，蒸發(fā)壓力與蒸發(fā)溫度呈對應關系。